下载用于半导体加工的玻璃陶瓷基材的技术资料

文档序号:11596564

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实施方式涉及可用于LED发光器件的具有III-V半导体层(例如,GaN层)的玻璃陶瓷基材。玻璃陶瓷材料是钙长石-金红石(CaAl2Si2O8+TiO2)种类或者堇青石-顽辉石(Mg2Al4Si5O18+MgSiO3)种类。...
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