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本发明涉及一种等离子体处理金属表面的实验装置，包括：实验腔，所述实验腔两端分别通过法兰盘A和法兰盘B密封，所述法兰盘A设有进气口，所述法兰盘B设有出气口。所述实验腔顶部经过铜电极A连接高压纳秒脉冲电源阳极，所述实验腔底部经过铜电极B接入地电...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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