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本发明公开了一种用于平衡多晶硅生产干法处理系统压力的方法，包括：步骤一、含氯硅烷的废气、废液和燃料气在燃烧炉内高温水解成烟气，将上述烟气通入余热锅炉降温，并回收蒸汽；步骤二、将步骤一中的降温回收的烟气进入主回路，其中主回路的烟气通入过滤器内...
该专利属于陕西天宏硅材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西天宏硅材料有限责任公司授权不得商用。

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