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本发明提供了电容式微加工超声换能器及其制造方法。该电容式微加工超声换能器包括：器件基板，包括第一沟槽和第二沟槽，第一沟槽限制对应于多个元件的多个第一部分，第二沟槽限制与多个第一部分分离的第二部分；支撑单元，提供在器件基板上用于限制对应于多个...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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