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本实用新型揭示了一种关键尺寸测量标记。所述关键尺寸测量标记包括两个第一标记和两个第二标记，所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处，所述第一标记包括第一子标记和第二子标记，所述第二标记包括第三子标记和第四子标记，所述第一子标记...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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