下载一种全自动晶圆划片机的技术资料

文档序号:11577386

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本发明公开了一种全自动晶圆划片机,包括机架,机架的一侧设置有激光器,激光器的下方设置有旋转划片工作台,机架的另一侧设置有自动放收料装置,所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构,自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手,理料机构与划片工作...
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