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SPR传感器元件和SPR传感器制造技术
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文档序号:11570147
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本发明提供一种具有极其优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。该SPR传感器元件设置有:下包层;芯层,该芯层的至少一部分邻接下包层;以及金属层,该金属层覆盖芯层。芯层由均一层和配置在均一层与下包层之间的梯度层构成。均一层的折射率N...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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