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本实用新型涉及一种连续调温式高真空低温微纳米压痕测试装置，属于精密科学仪器领域。X向精密调整模块用以调整压入点的位置，通过Z向精密压入驱动模块实现精密压入，通过位移信号和力信号精密检测模块对压入位移信号和力信号进行精密检测；变温载物平台与低...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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