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本发明提供一种冷阱，其课题在于抑制排气流路的传导率的下降，并且提高冷阱的排气速度。本发明的冷阱(10)配设于真空容器(12)与涡轮分子泵(14)之间。冷阱(10)具备冷板(24)及在排气流路(18)中包围冷板(24)的冷板容器(26)。冷板...
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