下载一种具有微锥塔阵列端面的电极及其加工方法与应用的技术资料

文档序号:11537053

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本发明公开了一种具有微锥塔阵列端面的电极及其加工方法与应用。电极包括相互连接的电极端头和配气导向杆;电极端头的放电端面上加工微锥塔阵列,多个微锥塔在电极端头的平面上纵横依次成排连接;其中微锥塔为微小的锥形结构,V形沟槽底部通过半径为1~5微...
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