下载三维堆叠封装芯片中的变压器及其制备方法的技术资料

文档序号:11536049

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本发明揭示了一种三维堆叠封装芯片中的变压器,包括:第一晶圆,包括第一衬底以及位于所述第一衬底一侧的第一电介质层,所述第一电介质层内形成有一第一电感线圈;第二晶圆,包括第二衬底以及位于所述第二衬底一侧的第二电介质层,所述第二电介质层内形成有一...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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