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一种低温耐磨电阻固化烧结炉制造技术
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文档序号:11525379
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一种低温耐磨电阻固化烧结炉,设置有炉膛、传送带、加热机构、气体保护机构、温度控制电气结构、传送带保护电路、超温保护电路和超射波传送带自动清洗结构;加热机构设置有五个加热区和一个冷却区;气体保护机构设置有第一气体入口、第二气体入口、第一气体出...
该专利属于珠海市华晶微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海市华晶微电子有限公司授权不得商用。
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