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本发明实施例提供了一种薄膜层图案、薄膜晶体管及阵列基板的制备方法,涉及显示技术领域,可有效提升产品良率,并且可以缩短制作周期,节省成本。所述薄膜层图案的制备方法包括:提供掩模板,所述掩膜板包括掩膜板本体和设置在所述掩膜板本体上的镂空部分;将...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供了一种薄膜层图案、薄膜晶体管及阵列基板的制备方法,涉及显示技术领域,可有效提升产品良率,并且可以缩短制作周期,节省成本。所述薄膜层图案的制备方法包括:提供掩模板,所述掩膜板包括掩膜板本体和设置在所述掩膜板本体上的镂空部分;将...