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激光诱导双腔微泵制造技术
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文档序号:11497264
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本实用新型公开了一种激光诱导双腔微泵,其包括具有内腔的泵体、与泵体连接并将内腔分隔为驱动腔和泵腔的弹性的泵膜、插入充满驱动液的所述驱动腔内部的光纤、设于泵体并与所述泵腔连通控制流体单向进入泵腔和单向流出泵腔的单向流动控制装置。该微泵具有毫秒...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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