下载阵列式微结构纳米压印方法及装置的技术资料

文档序号:11488048

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本发明公开了一种阵列式微结构纳米压印方法及装置,其中,阵列式微结构纳米压印方法包括如下步骤:1)基材运行至加工工位;2)模具的压印面与基材接触;3)激光对模具压印面照射并加热;4)压印;5)脱模;6)基材运行至下一加工工位;7)重复步骤2~...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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