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本发明提供一种用于垂直结构LED芯片的铜基板的制备方法,包括如下步骤:1)在外延片表面蒸镀一层P型金属电极层,在P型金属电极层上再镀上一层Au,得到第一基板;2)对第一基板进行清洗,达到去油效果后,用H2SO4进行表面活化;3)将磷铜阳极进...该专利属于广州市众拓光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州市众拓光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于垂直结构LED芯片的铜基板的制备方法,包括如下步骤:1)在外延片表面蒸镀一层P型金属电极层,在P型金属电极层上再镀上一层Au,得到第一基板;2)对第一基板进行清洗,达到去油效果后,用H2SO4进行表面活化;3)将磷铜阳极进...