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同步测量液膜浓度、厚度和温度的装置以及测量方法制造方法及图纸
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下载同步测量液膜浓度、厚度和温度的装置以及测量方法的技术资料
文档序号:11481110
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本发明提供一种同步测量液膜浓度、厚度和温度的装置,其特征在于,包括:三个激光光源,发出波长不同的激光光束;波分复用器,与三个激光光源相连,将三束激光光束耦合成一束;第一准直器,与波分复用器相连,对激光光束进行聚焦;液膜载体,设置在第一准直器...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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