下载形成单晶棒的直拉系统与生长单晶棒的工艺方法的技术资料

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本发明提供了一种形成单晶棒的直拉系统与生长单晶棒的工艺方法。该直拉系统包括:坩埚、保温环与导流筒,上述保温环设置在所述坩埚的上方;上述导流筒设置在所述保温环的上方。该形成单晶棒的直拉系统中具有保温环,并且保温环与坩埚距离较近,即距离单晶硅的...
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