下载一种发光强度高的GaN基LED外延生长方法的技术资料

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本发明提供一种发光强度高的GaN基LED外延生长方法,在生长浓度稳定的掺Si氮化镓层之后生长的第一掺Si的AlGaN层与非掺杂GaN层以及第二掺Si氮化镓层,会在非掺杂GaN内形成二维电子气,从而有效增加载流子浓度和迁移率,并且二维电子气结...
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