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提供装置、方法以及制造装置，它们涉及在半导体衬底（10）上构造线圈（11）。在线圈（11）内部，布置金属填充物（12），例如以小于20%的密度。...
该专利属于领特德国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过领特德国有限公司授权不得商用。

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