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能够防止在基板盒被清洗后污染物质从把持柄转移而污染基板盒的情况。在未设置基板的状态下对容纳基板的基板盒(C)进行清洗，具备室(10)，所述室(10)形成洁净的空间，在室(10)内具备清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在将基板盒(...该专利属于修谷鲁电子机器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过修谷鲁电子机器股份有限公司授权不得商用。
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