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本实用新型涉及一种托盘，具体涉及一种真空旋涂用托盘，内置基片，主要包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设凹槽，该凹槽中心开设定位孔，该凹槽内还设有多个真空孔，所述多个真空孔均匀设置于所述凹槽底部的侧边上。本实用新型通过均匀设置在凹槽底部侧边上...
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