下载一种微向下提拉晶体生长炉的技术资料

文档序号:11460519

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本发明公开了一种微向下提拉晶体生长炉,包括自上而下设置的上部绝热层和底部绝热层(13),底部绝热层(13)内还设置有观察孔(4),观察孔(4)呈管状,其中心轴线与底部绝热层(13)顶表面的法线的夹角为45°~60°;内层绝热层、中间绝热层和...
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