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一种微向下提拉晶体生长炉制造技术
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下载一种微向下提拉晶体生长炉的技术资料
文档序号:11460519
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本发明公开了一种微向下提拉晶体生长炉,包括自上而下设置的上部绝热层和底部绝热层(13),底部绝热层(13)内还设置有观察孔(4),观察孔(4)呈管状,其中心轴线与底部绝热层(13)顶表面的法线的夹角为45°~60°;内层绝热层、中间绝热层和...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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