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本发明涉及一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法。本发明尤其涉及一种如下的锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法：其在制备单锗烷气体时，利用包含微结构通道的制造装置而在短时间内混合反应物质，并除去所产生的反应热，从而可以将单...
该专利属于奥瑟亚新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥瑟亚新材料股份有限公司授权不得商用。

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