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减低漏电的字线电荷保护电路制造技术
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下载减低漏电的字线电荷保护电路的技术资料
文档序号:11456430
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描述一种制造字线保护结构的方法以及系统。如所述,该字线保护结构包括多晶硅结构,形成于邻近存储器核心区域。该多晶硅结构包括位于该多晶硅结构核心侧的第一掺杂区域以及位于该多晶硅结构脊柱侧的第二掺杂区域。一未掺杂区域位于该第一及第二掺杂区域之间。...
该专利属于斯班逊有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯班逊有限公司授权不得商用。
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