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一种声响转换器，在硅基板(32)上开设上下贯通的腔室(35)。在硅基板(32)的上面以覆盖腔室(35)的方式配设隔膜(33)。隔开空隙而在隔膜(33)的上方配设固定电极膜(40)，固定电极膜(40)被保护膜(39)保持。另外，在硅基板(32...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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