声响转换器制造技术

一种声响转换器，在硅基板(32)上开设上下贯通的腔室(35)。在硅基板(32)的上面以覆盖腔室(35)的方式配设隔膜(33)。隔开空隙而在隔膜(33)的上方配设固定电极膜(40)，固定电极膜(40)被保护膜(39)保持。另外，在硅基板(32)的上面的腔室(35)的周围区域和隔膜(33)的缘部下面之间形成通风孔(37)(间隙)。在基板上面的腔室(35)的周围区域和隔膜(33)的缘部下面面对面的区域中的向某个方向延伸的一部分区域，缩小在基板上面的腔室(35)的周围区域和隔膜(33)的缘部下面之间形成的通风孔(37)的高度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种声响转换器，其特征在于，具备：基板，其具有在上面开设的空洞；振动电极膜，其以如下方式形成，即，覆盖所述空洞而配设在所述基板的上方，在所述空洞的周围，在与所述基板的上面之间形成间隙，在所述间隙，所述间隙中的一部分比所述间隙的其它部分变窄，且变窄的所述间隙的一部分线状地延伸；固定电极膜，其隔开空隙而配设在所述振动电极膜的上方。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上匡志，笠井隆，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP