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可减少掩膜数目的具有静电放电电路保护的半导体功率组件制造技术
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下载可减少掩膜数目的具有静电放电电路保护的半导体功率组件的技术资料
文档序号:11439394
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本发明提供一种设置于一半导体衬底上的半导体功率组件,其包含有一设置于该半导体衬底顶面上的已图案化多晶硅层的一第一部份的静电放电(ESD)保护电路。这半导体功率组件更包含有一作为本体离子植入阻碍层的已图案化ESD多晶硅层的第二部分,以阻碍掺杂...
该专利属于万国半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过万国半导体股份有限公司授权不得商用。
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