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本发明公开了一种二自由度压电驱动纳米定位平台，包括：XY运动平台本体通过X轴方向的全柔顺机构、Y轴方向的全柔顺机构以及十字花型XY解耦机构与基座连接；XY运动平台本体和基座的侧面分别安装有检查其X方向和Y方向运动的激光尺平面反射镜，激光尺平...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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