下载GaAs基发光二极管芯片上GaP粗糙表面的制备方法的技术资料

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一种GaAs基发光二极管芯片上GaP粗糙表面的制备方法,包括步骤如下:(1)在GaAs基外延片的GaP窗口层表面蒸镀一层Au膜作为p型电极,在GaP窗口层上保留电极图形;(2)在步骤(1)保留的电极图形保护下制备p型金属电极和粗糙的GaP出...
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