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本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷检测方法和检测系统，其中，检测方法包括：光纤耦合器对输入的宽带光源进行分路；一路低相干光输入参考臂，被零光程参考面反射，形成参考光，另一路低相干光输入样品臂，进行光程延时处理，通过光纤探头阵列获取信号光；信号...
该专利属于上海电力学院所有，仅供学习研究参考，未经过上海电力学院授权不得商用。

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