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本发明公开了一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法。该激光器采用阶梯型波导结构,即在激光器工作时产热严重的有源区部分刻蚀成阶梯型台面的方法,使得产热区域热交换面积增大,能够有效的降低有源区温度,并可改善传统湿法刻蚀双沟道脊型波导带...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种高效侧向导热的量子级联激光器结构及其制备方法。该激光器采用阶梯型波导结构,即在激光器工作时产热严重的有源区部分刻蚀成阶梯型台面的方法,使得产热区域热交换面积增大,能够有效的降低有源区温度,并可改善传统湿法刻蚀双沟道脊型波导带...