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一种工夹具，包括用于承载晶圆的承载台和将晶圆限制在所述承载台的表面范围内的限位件，所述限位件沿所述承载台的边缘环绕设置，所述限位件与所述承载台形成收容空间。在一线人员对圆晶圆进行临时键合时提供辅助，在限位件的限位下能有效辅助一线人员在进行临...
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