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本发明公开一种离子测量装置及其石墨层，离子测量装置适用于离子植入机的离子束的测量，并包括：永磁铁凹槽，具有一开口；石墨层，设置于开口处，在石墨层中具有一缝隙，使离子束经缝隙、开口进入永磁铁凹槽内，缝隙加长到偏斜的被测离子束也能穿过该缝隙而进...
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