下载脆性材料基板的切断方法及切断装置的技术资料

文档序号:11363596

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本发明涉及脆性材料基板的切断方法及切断装置。本发明提供一种基板切断方法及切断装置,可在不使用尖锐刃尖的切断杆的情况下,高效地切断具备树脂或金属正面层的脆性材料基板。一种切断基板(W)的切断方法,该基板(W)在基板主体(1)的上表面积层有正面...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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