下载清洗装置的技术资料

文档序号:11362342

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本发明提供了一种清洗装置,用于清洗基板,所述清洗装置包括传送装置、喷淋装置及止挡装置,所述传送装置用于传送所述基板,所述喷淋装置设置于所述传送装置上方,用于喷水以清洗所述基板,所述止挡装置包括止挡件、风刀及连接于所述风刀的进气管,所述止挡件...
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