下载一种钽酸锂晶片的磨削加工方法的技术资料

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一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,包括如下步骤:(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上;(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上,所述基板固定在工作台上;(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面,所述冷却液含有电解质溶液,加工...
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