下载用于芯片操作的机台、系统的技术资料

文档序号:11353972

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本实用新型涉及用于芯片操作的机台、系统。一种机台包括:平台;U形突起,其位于所述平台之上,在所述U形突起的外侧周围设置有至少一个通气孔;凹槽,其至少部分地位于所述U形突起之内;滑板,其设置于所述凹槽中并可受控沿着垂直于所述平台表面的第一方向...
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