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一种铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层薄膜的制备方法技术
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下载一种铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层薄膜的制备方法的技术资料
文档序号:11351567
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本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层薄膜的制备方法。使用本发明能够降低沉积温度、简化工艺。本发明首先将基底加热至250℃~350℃并保温,然后采用磁控溅射或多元共蒸发法制备CIGS光吸收层薄膜,同时对基底照射光子能量范围为1.2eV...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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