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一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的需要结构空间大、驱动器使用多和结构设计制造困难的问题。本发明包括镜座连接件、镜框连接件和两组微动调整机构；两组微动调整机构设置在镜座...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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