下载用于夹持半导体器件的装置的技术资料

文档序号:11346403

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本发明涉及一种用于夹持半导体器件的装置,其包括用于放置半导体器件的底座;设置在半导体器件的上方的压板,压板通过调距单元与底座连接;设在压板与半导体器件之间的用于压装半导体器件的弹性件。其中,该调距单元构造成能够调整底座与压板之间的距离,并使...
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