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本实用新型公开了一种厚度测量系统,包括至少两组具有不同量程范围的测量装置,其中至少有1组测量装置为X射线测量装置,X射线测量装置为小量程测量装置。本实用新型采用至少2组测量装置,其中至少1组是X射线测量装置,既保证了最终产品的测量精度,也降...该专利属于北京市东方瀚钇科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京市东方瀚钇科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种厚度测量系统,包括至少两组具有不同量程范围的测量装置,其中至少有1组测量装置为X射线测量装置,X射线测量装置为小量程测量装置。本实用新型采用至少2组测量装置,其中至少1组是X射线测量装置,既保证了最终产品的测量精度,也降...