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一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法制造方法及图纸
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下载一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法的技术资料
文档序号:11336054
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本发明公开了一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法。所述装置从下到上依次为基底、电极、介质层、超疏水层,其中:基底为玻璃或Si基底,电极为ITO玻璃电极、Au/Cr(Au/Ti)或Al/Cr(Al/Ti)薄膜电极,超疏水层为氮化硼纳...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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