下载一种薄膜芯片制备方法的技术资料

文档序号:11333541

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种薄膜芯片制备方法,包括如下步骤:用光刻胶制作阳模,将制备好的阳模进行硅烷化处理;将PDMS前聚物与固化剂混合均匀,去除气泡,涂在经硅烷化处理的阳模上;用甩胶机涂布,形成均匀的PDMS薄膜,并固化处理;用打孔器在中层PDMS薄膜...
该专利属于重庆市旭星化工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆市旭星化工有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。