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一种半导体桥多晶硅制备方法技术
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文档序号:11325175
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本发明涉及一种半导体桥多晶硅制备方法,包括如下步骤:采用低压力化学气相沉积法淀积多晶硅薄膜;在多晶硅薄膜上腐蚀出多晶硅桥,并溅射钛钨金;利用光刻法将电阻的两个端头露出,其余地方用光刻胶遮挡;以钛钨金为底金,进行电镀金;去掉光刻胶,腐蚀掉光刻...
该专利属于重庆市旭星化工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆市旭星化工有限公司授权不得商用。
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