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本发明能防止在进行了气氛调整的处理室内使用的、利用气体悬浮的移动平台的移动引起的微粒粉尘的卷起。在进行了调整的气氛下对被处理体(半导体基板(100))进行处理的处理室(2)内所设置的移动平台(3)中，具有设置有被处理体的平台主体(30)、以...
该专利属于株式会社日本制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日本制钢所授权不得商用。

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