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一种晶圆承载盘，为陶瓷材质一体制成，其包括一穿孔、一结合面及一承载面，该穿孔位于中央且由顶面贯穿到底面以使整体呈环状，该穿孔可供容纳一机台的静电吸盘，该结合面位于底面可供用于结合于该机台上，该承载面位于顶面，且靠近该穿孔边缘处等间隔设置有多...
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