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一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置，确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，电阻率达到2×10-4Ω/cm、透过率达到90％以上；明显提高ITO薄膜的产...
该专利属于洛阳康耀电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳康耀电子有限公司授权不得商用。

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