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用于生产多晶硅电阻器的方法。用于生产多晶硅电阻器装置的方法可包括：形成多晶硅层；将第一掺杂剂原子注入到所述多晶硅层的至少一部分中，其中第一掺杂剂原子包括深能级施主；将第二掺杂剂原子注入到所述多晶硅层的所述至少一部分中；以及使所述多晶硅层的所...
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