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吸附装置、搬送装置、及光学元件的制造装置制造方法及图纸
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下载吸附装置、搬送装置、及光学元件的制造装置的技术资料
文档序号:11299341
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本发明提供吸附装置、搬送搬送装置、及光学元件的制造装置,其在吸附装置内部的减压解除时,能够可靠地使预塑型坯等被吸附部件脱离。吸附装置(10)具备在内部形成有空间(18),并具有抽气口(12A)和吸附口(14B)的装置主体,利用吸附装置(10...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。
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